李志坚
简历
李志坚，微电子学研究所教授，中国科学院院士。1928年生，浙江镇海人。毕业于浙江大学物理系，1958年获苏联列宁格勒大学副博士学位。1958年起在清华大学工作，长期担任电子工程系半导体教研室主任，微电子所所长职务。现为清华大学学术委员会副主任，所学术委员会主任，校外职务有：中国电子学会副理事长，全国科协委员，半导体和集成技术学会副主任委员，“电子学报”编委，“半导体学报”编委会副主任，以及国家超晶格实验室，国家表面物理实验室等学术委员会主任。
从事半导体和微电子技术领域的教学和研究。MOS器件物理方面获二次部委科技进步二等奖， VLSI集成技术及电路方面获部委科技进步一等奖四次和国家科技进步二等奖二次，VLSI高速热处理技术获福建发明二等奖。主编《半导体材料硅》和《MOSLSI 集成技术》二书。发表论文130余篇。
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